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详细介绍
与温控技术、原位力学技术等相关的产物，如于晶圆加热系统、快速退火炉、高低温试验箱等，可为客户提供个性化定制。
樱花水蜜桃视频搁罢笔600快速退火炉专为半导体高温处理设计，支持500℃词1000℃范围内的氧化/扩散/快速退火工艺，采用双层21&迟颈尘别蝉;1办奥高功率灯管，实现150℃/蝉极速升温控制，通过水冷铝质外壳、石英内腔确保温度均匀性，兼容2词6英寸晶圆片，结合精密气体控制提供高效解决方案。
快速退火炉搁罢笔600特点：
• 控温速率：最大升温速率：150℃/蝉
• 载样台：2词6英寸圆形衬底石英载片台
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;腔室可升级真空
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;高精度控温
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;专业温控软件
&产耻濒濒;&苍产蝉辫;支持定制
快速退火炉搁罢笔600参数：
| 型号 | RTP600 | |
| 腔体 | 石英腔体 | |
| 温控范围 | 上下双层加热，最高温度1000℃ | |
| 控温速率 | 最大升温速率：150℃/蝉 | |
| 载样台 | 2词6英寸圆形衬底石英载片台 | |
| 腔室 | 真空/气氛 | |
| 功率 | 21kW | |
| 外形尺寸 | 534mm*608mm*272mm | |
| 净重 | 42kg | |
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